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　　無油真空泵屬于干式真空泵，相比油潤滑真空泵使用會排除一定的二氧化碳和廢氣，它具有低碳、環保。而且無油真空泵不需要使用潤滑油，運行穩點，使用周期長，沒有油污等產生，符合現代企業節能的環保理念。

　　無油真空泵常見應用領域域：

　　1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

　　2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

　　3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求。

　　4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵。

　　5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。

　　綜上所述，無油真空泵無疑是順應時代的潮流的設備，在這一個倡導節能減排，的時代，無油真空泵的出現顯然很是時候，在未來，會有更多的企業將會將眼光看向無油真空泵。