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大型真空泵簡單得說：功率大，極限真空高壓力極小，壓力越小，代表極限真空度越高，有的甚至可以做到10負幾次方Pa，非常接近理論真空了。抽氣速率大，通常以“L/S (升/秒)”作為單位。工業上有非常廣泛的應用。

缺點是價格高昂、體積大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期維護，不易移動等。有的大型真空泵必須使用真空泵油或潤滑油，工作中會產生油霧，對工作介質有污染。

以上缺點在某些場合特別明顯，如大型真空泵雖然真空度高，但在低真空場合反而浪費，像實驗室，只是需要泵對少量氣體進行氣體采樣、氣體分析、氣體循環、真空吸附、氣體轉移、增壓、間接吸水、排水等時，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺點。

這個時候用微型真空泵，粗真空(真空度較低)就可以滿足，而且體積小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于攜帶、免維護、可24小時連續運轉，還允許介質富含水汽。較重要的是，因為是干式、無油的，不需要真空泵油或潤滑油，所以不會污染工作介質，不會干擾對介質的分析等等。而且價格相對便宜得多。